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详细说明

陶瓷盘清洗机

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  • 商品说明

专用于半导体/LED/蓝宝石外延产线中陶瓷盘（Carrier/Boat）的清洗，去除盘面胶质、蜡层、颗粒附着物，是插片机之后、外延/镀膜之前的关键清洗工位。

工艺流程

陶瓷盘上料 → 化学液超声粗洗（去蜡/去胶） → 纯水超声漂洗 → 热水沥干 → 下料
工序介质温度频率目的
超声化学液清洗碱性药液/纯水50~70℃28~40kHz溶解蜡层、乳化胶质，空化剥离颗粒
纯水超声漂洗纯水常温~40℃40~80kHz去除化学液残留
热水沥干纯水（热水）约75~80℃—替代热风+擦干：缓慢提出水面，利用表面张力拉回水分，75℃是水挥发最快温度

最后一步用热水缓慢沥干替代传统热风吹干+无尘布擦干，避免二次污染和盘面划伤。

核心结构

部件说明
超声波清洗槽SUS304/316L，配底振式或边振式换能器
定制陶瓷盘架⭐核心——盘片竖插/平放，全程无硬接触，防碎防划
超声波发生器28kHz（粗洗）/ 40~80kHz（精洗），可多频切换
多臂机械手（全自动机型）自动抓取、移盘、入槽，效率高
触摸屏PLC控制全自动/手动双模式，参数可存
循环过滤系统化学液槽配过滤，延长药液寿命
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