全自动石英管清洗机

一、工作原理

二、核心参数

1. 适配规格：可定制不同长度、管径石英管，兼容直管、异形弯管、石英舟、石英套筒、反应腔体等；常规适配管径 3mm～200mm，长度 50mm～2500mm

2. 超声配置：常规频率 28kHz/40kHz 粗洗，高频兆声波可选；功率分区可调，功率密度 0.4～1.2W/cm²，避免石英震裂

3. 温控系统：药液温度常温～95℃可调，控温精度 ±0.5℃，适配各类酸碱清洗工艺

4. 槽体材质：整机接触药液部位采用 PVDF、防腐 PP、特氟龙内衬，耐氢氟酸、硫酸、硝酸、强碱等强腐蚀药剂

5. 循环过滤系统：配置 0.05μm～0.2μm 精密滤芯循环过滤，防止杂质二次吸附管壁

6. 喷淋压力：高压喷淋压力 0.2～0.6MPa，内外壁同步喷淋冲洗无死角

7. 控制系统：PLC 触摸屏全自动运行，多组清洗配方存储，清洗时长、温度、液位可自定义，具备液位、超温、缺药、排风异常报警联锁保护

8. 干燥方式：无尘热风烘干、高纯氮气吹扫烘干两种配置可选，杜绝水渍水印

9. 洁净等级：清洗后表面微粒、金属离子含量满足半导体高纯制程要求

三、应用范围

1. 半导体光伏行业：扩散炉、氧化炉、PECVD、LPCVD 设备配套石英管、石英舟、石英套筒、承载舟清洗，去除高温工艺产生硅氧化物、磷硼杂质、硅粉沉积物

2. 芯片制造领域：外延设备、扩散腔体、石英反应管、石英承载件前后道高纯清洗，防止杂质污染晶圆，保障芯片良率

3. 光伏电池制程：单晶、多晶电池片扩散工序石英配件周期性除垢清洗

4. 特种材料行业：高纯石英器皿、实验室石英烧杯、石英坩埚、光学石英器件油污、粉尘、氧化层清洗

5. 第三代半导体：碳化硅、氮化镓外延炉配套石英腔体、石英管件除金属离子、粉尘杂质清洗

6. 光伏与半导体设备维保：工厂石英配件周期性翻新清洗、报废石英件再生洁净处理