石英管清洗机

一、工作原理

1、核心基础：超声波空化效应

• 28kHz 低频：冲击力强，去除厚重积碳、硅垢重污染

• 40kHz 高频：清洗柔和，防止管壁产生微划痕

• 兆声波（≥1MHz）：去除亚微米级微颗粒，适配半导体超高洁净需求

2、全自动标准工艺流程（龙门多槽机型通用）

1. 预处理喷淋粗洗：高压冲淋去除表面浮尘、大块硅渣、油污结块，避免大颗粒刮花管壁

2. 碱性超声除油槽：去除有机油脂、光刻胶、高分子残留

3. 酸性化学清洗槽：稀酸 / BOE 配方精准去除金属离子、无机盐沉积、轻微析晶失透层，恒温控时防止过腐蚀

4. 多级超纯水溢流漂洗：三道以上 DI 纯水逐级置换，彻底中和残留药液，杜绝水印、二次污染

5. 慢拉脱水槽：梯度提拉破除水膜，减少表面水渍

6. 热风 / 氮气密闭烘干：无尘热风或高纯氮气烘干，洁净出料

3、龙门自动化运行逻辑

二、技术参数

1、适配工件规格

• 适用管径：φ6mm～φ350mm

• 清洗长度：常规 1～3m，最长可定制 6m 超长石英管

• 单次装载：1～6 根同步清洗，夹具可兼容圆管、方管、石英舟、炉管

• 夹持方式：防磕碰氟橡胶定位夹具，避免管壁压伤划痕

2、槽体与防腐结构

• 槽体材质：药液槽 PP/PFA/PTFE 防腐材质；漂洗槽 316L 不锈钢，耐氢氟酸、强酸强碱腐蚀

• 整机外壳：钣金喷涂 + 密闭酸雾排风罩，配套废气收集系统

• 槽位配置：3～12 槽按需定制（粗洗、酸洗、多级漂洗、烘干排布）

3、超声波系统

• 标配频率：28kHz / 40kHz，可选兆声波 800kHz~1.2MHz

• 单槽超声功率：900W~3600W，功率 10%~100% 无级可调

• 配置独立防过热发生器、震板可拆卸维护

4、温控与水循环系统

• 控温区间：室温～85℃，控温精度 ±1℃，每槽独立温控

• 循环系统：每槽配循环泵 + 多级袋式过滤器，配套油水分离、药液过滤回用

• 漂洗槽四面溢流设计，持续置换超纯水，提升洁净等级

5、电气控制系统

• 主控：PLC 可编程控制器 + 10 寸触摸屏，存储多套清洗配方，时间、温度、升降节拍一键调用

• 保护功能：高低液位报警、药液泄漏检测、电机过载、超时报警、紧急停止

• 供电：三相 380V/50Hz

• 整机总功率：8~25kW（随槽位、烘干配置浮动）

6、选配功能

三、应用范围

1、半导体集成电路行业（高端主力场景）

2、光伏新能源产业

3、光学仪器 & 实验室科研

4、特种化工、高温热处理行业

5、医疗器械 & 高纯材料行业