半导体清洗设备供酸系统

供酸系统（Chemical Delivery System，CDS）是把高纯酸碱/有机溶剂从中央储罐经管道精准输送到各台清洗设备的整套管路+控制系统，核心价值：多化学品并行供给、浓度ppm级闭环控制、快速切换<15秒、零泄漏零污染。

系统架构总览

中央化学品储罐区

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├── HF储罐 ──┐

├── H₂SO₄储罐──┤

├── HCl储罐 ──┤

├── HNO₃储罐──┤ ┌─────────────────────┐

├── NH₄OH储罐─┤────→│ CDM化学品分配模块 │──→ 各清洗设备

├── H₂O₂储罐─┤ │ (多通道独立控制) │

├── IPA储罐 ──┤ └─────────────────────┘

└── DI水储罐 ──┘

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在线浓度/pH监测 ──→ PLC/AI闭环调节 ──→ 供液泵