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手动晶圆片腐蚀机

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  • 商品说明

手动晶圆片腐蚀机是人工上下料、逐片浸入化学腐蚀液、通过控制时间实现定向去膜/去氧化层的湿法设备。

工作原理

晶圆放入特氟龙晶圆篮 → 浸入腐蚀液（如磷酸/HF/SPM）→ 设定时间腐蚀 → 取出 → DI水冲洗 → 干燥
腐蚀目标常用腐蚀液反应原理
去除Al金属膜磷酸（85%）+ 少量乙醇2Al + 6H₃PO₄ → 2Al(H₂PO₄)₃ + 3H₂↑
去除SiO₂氧化层HF / BOE（HF+NH₄F）SiO₂ + 6HF → H₂SiF₆ + 2H₂O
去除有机物/颗粒SPM（H₂SO₄+H₂O₂）强氧化性分解有机物
去除光刻胶磷酸+硝酸混合液氧化分解胶层

手动腐蚀机结构

部件说明
腐蚀槽SUS304/316L/PFA内衬，配石英加热器
特氟龙晶圆篮开口底部，晶圆竖插，全程无硬接触
温控系统恒温水浴，精度±1℃（如磷酸腐蚀需80℃）
计时器手动设定腐蚀时间（秒级精度）
排风/抽风酸雾排放，必须配
DI水冲洗槽腐蚀后手动转移冲洗
IPA干燥或热风干燥防止水渍


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