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晶圆片插片机

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  • 商品说明

晶圆插片机是把晶圆片（硅片）自动/半自动插入花篮（Cassette/Boat）的设备，是晶圆清洗、蚀刻、检测等湿法工序的前道上料环节，核心价值：替代手工插片，防碎片、提效率、保一致性。

插片机在工艺链中的位置

晶圆来料 → 🔲 插片机（入篮） → 超声波清洗 → 多槽精洗/漂洗 → 烘干 → 下道工序

插片机是整条清洗线的第一道工序，插片质量直接决定后续清洗良率——片子插歪、叠片、碎片都会在清洗中被放大。

两大类型

维度全自动插片机（半导体/光伏）硅片插片机（光伏专用）
典型应用半导体前道清洗、光伏制绒清洗前光伏硅片清洗前装篮
产能5000片/小时40~60片/分钟（≈2400~3600片/h）
自动化程度全自动：分料→上料→入篮→换篮→报警半自动：人工上料，自动排片入篮
检测能力✅ 破片检测（≥8mm碎片）、厚度片检测（≥2倍厚度）、废品自动剔除✅ 花篮就位检测、排片滞留报警
晶圆适配2~12寸全尺寸，兼容Waffle Pack/GelPAK6寸/8寸，125~156mm硅片
典型尺寸2200×1200×1000mm，约400kg较小，可移动脚轮设计
气源/功率干燥气体≥0.4MPa，5kW—

核心功能

功能说明
自动分料晶圆片从来料盒中逐片分离
硅片破片检测检测四角破碎≥8mm的片子，小于8mm无法检出
厚度片检测检出≥2倍厚度的异常片
废品剔除自动将问题片放入中间处理槽
自动入篮喷流+吸附带传输，全程无硬物接触，防损伤
收篮槽喷水防晶圆干燥，可选开/关
故障报警无料/无篮/收料槽满/故障停机
循环补新水排废水补水量可调
防干保护喷水装置对装好篮的硅片持续加水


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